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  • 产品名称:Hanbell PS602 汉钟麻豆APP官方入口维修 干式螺旋麻豆APP官方入口保养

  • 产品型号:PS602
  • 产品厂商:其它品牌
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PDR系列 包括机型 汉钟麻豆APP官方入口 PDR100 , 汉钟麻豆APP官方入口 PDR602, 汉钟 麻豆APP官方入口 PDR1202 
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台湾汉钟麻豆APP官方入口PS系列产品特点 螺旋麻豆APP官方入口浦产品特色
  
  汉钟精机PS系列干式螺旋麻豆APP官方入口浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得麻豆APP官方入口浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果,压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式麻豆APP官方入口浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的麻豆APP官方入口浦强,加上转子表面披覆材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。 泵浦温度控制精准
  
  汉钟精机PS系列干式螺旋麻豆APP官方入口浦,承袭上一代麻豆APP官方入口浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加麻豆APP官方入口浦的寿命。 密封马达性高
  
  PS系列麻豆APP官方入口浦亦采用设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可避免制程气体外漏的风险。 微电脑控制保护周全
  
  PS系列麻豆APP官方入口浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供麻豆APP官方入口浦完整的性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。










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